4200參數(shù)分析儀
主要性能指标
I-V 源測量單元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
100 fA測量分辨率
選配前端放大(dà)器(qì)提供了 10 aA測量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低(dī)頻率電(diàn)容測量
四象限操作(zuò)
2 線或 4 線連接
C-V 多(duō)頻率電(diàn)容單元(CVU)
AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 頻率範圍
± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可(kě)以擴展到± 210 V(420 V 差分)
選配 CVIV 多(duō)通(tōng)道(dào)開(kāi)關，在 I-V 測量和(hé) C-V 測量之間(jiān)簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
兩個(gè)獨立的或同步的高(gāo)速脈沖 I-V 源和(hé)測量通(tōng)道(dào)
200 MSa/s，5 ns 采樣率
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
瞬态波形捕獲模式
任意波形發生(shēng)器(qì) Segment ARB® 模式，支持多(duō)電(diàn)平脈沖波形，10 ns 可(kě)編程分辨率
高(gāo)壓脈沖發生(shēng)器(qì)單元(PGU)
兩個(gè)高(gāo)速脈沖電(diàn)壓源通(tōng)道(dào)
±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
任意波形發生(shēng)器(qì) Segment ARB®模式，支持多(duō)電(diàn)平脈沖波形，10 ns 可(kě)編程分辨率I-V/C-V 多(duō)通(tōng)道(dào)開(kāi)關模塊 (CVIV)
在 I-V測量和(hé) C-V 測量之間(jiān)簡便切換，無需重新布線或擡起探針
把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或擡起探針遠程前端放大(dà)器(qì)/ 開(kāi)關模塊(RPM)
在 I-V 測量、C-V 測量和(hé)超快速脈沖 I-V 測量之間(jiān)自動切換
把 4225-PMU的電(diàn)流靈敏度擴展到數(shù)十皮安
降低(dī)電(diàn)纜電(diàn)容效應